在微电子制造领域,有一个关键的概念——刻蚀选择比,它决定了不同材料在刻蚀过程中的去除速率差异。下面,我将从多个角度深入解析这一概念,帮助您更好地理解它的重要性。 一、什么是刻蚀选择比? 1.刻蚀选择...
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